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超純水處理裝置

超純水處理裝置

Ultra Pure Water System (UPW System)
採用最先進技術的裝置設計達到最先進的半導體製造所需要之超純水水質


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JIS K0557-1998  用水・排水的試驗所使用的水


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①將製造水的裝置之出口水直接導入到導電度計的檢出部所量測到的值。
②直接將精密過濾器等的過濾器連接到最終步驟的離子交換裝置之出口,將出口水直接導入到導電度計的檢出部時,為0.01mS/m(25℃)。

 

導電度與電阻率


導電度是相當於1c     m2斷面、1cm距離的相對電極間之溶液所持有的電阻率(阻抗)之倒數,以S(Siemens)/㎝來表示。水是使用在25℃的數值,以S/cm的百萬分之一為單位換算成μS/㎝時要使用下列公式。
1μS/㎝=10-6S/㎝
另外,要表示製造半導體用的超純水之純度時,會使用電阻率來表示,此時會使用接在Ω・cm的前面之M(mega),用MΩ・cm(mega ohm-centimeter)來表示。要從電阻率Ω・cm來求MΩ・cm時,是使用下列公式。
1MΩ・cm=106Ω・ cm
導電度為1μS/㎝的時候之電阻率為1MΩ・cm。
當水越乾淨時,水的電阻率會增加(理論上是18.24MΩ・cm 25℃)。相反的,當電解質的濃度變得越高時,就越容易通電。也就是說,水的傳導率是電解質的濃度之指標。
通常,一般來講,自來水或地下水的導電度為100~300μS/㎝, 而純水為1μS/㎝以下或1MΩ・cm以上, 超純水為0.057μS/㎝以下或是17.5MΩ・cm以上之數值。

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